产品分类
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1专为高精密检测,光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动
3突出的速度稳定性(电机无接头效应)
4卓越的运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6扁平结构设计
7无机械接触
台面直径128.1-278.1mm
分辨率0.18-0.036arcsec
双向重复定位精度<1arcsec
1专为高精密检测,光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2无刷无槽伺服电机直接驱动,高扭拒输出
3突出的速度稳定性(电机无接头效应)
4卓越的运动性能,误差小,无抖动
5直联高精度旋转编码器
6超大的空心轴径,无机械接触
台面直径100-200mm
分辨率0.055-0.027arcsec
双向重复定位精度<1arcsec