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产品分类
品牌厂家
1.紧凑的结构
2.卓越的刚性
3.非接触直接驱动
4.使用Automation3200可以实现1nm的分辨率
5.重复定位精度高
6.位置稳定性能卓越
7.免维护
8.4mm行程
行程4mm
速度50mm/s
负载2.0kg
1.紧凑的结构
2.卓越的刚性
3.较高的重复定位精度
4.卓越的位置稳定性
5.易于和ALS130和别的平台组合
6.9nm直线分辨率
7.使用Automation3200可以实现4.5nm分辨率
8.非接触,无接头,直接驱动
9.25mm行程
10.气动平衡装置
行程25mm
速度100mm/s
负载7.0kg
1.较高的负载搬运能力
2.高刚性
3.非接触直接驱动
4.高精度
5.集成气动平衡装置
6.配置ARA1000平台很容易实现多轴应用
行程2mm
速度5mm/s
负载50.0kg
1.长寿命直线导轨系统
2.亚微米闭环定位
3.低成本,高性能
4.6,13和25mm行程
5.精密磨削滚珠丝杠
6.集成或可拆装的电机
行程6,13,25mm
速度50mm/s
负载25kg
1.低外形适合对空间敏感的应用
2.非接触直接驱动
3.重复定位精度高
4.集成气动平衡装置
5.配置WaferMaxT平台可以很容易实现多轴应用
行程5mm
速度4mm/s
负载10kg