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1激光干涉仪反馈
21.2米直线电机驱动,气浮导轨导向,0.3nm分辨率
3先进的控制系统,高速度高分辨率细分器和良好的环境兼容性
1开放式气浮导轨结构
2用照明设备可同时背部/前部检测
3系统紧凑独立,7轴坐标控制
1大孔径旋转台
2高精度直线电机驱动的X-Y平台,全密封且硬盖保护,防尘,防碎片
3无刷电机和只能电缆管理系统自由运转,维护方便
1在整个工作空间内保证3秒空间重复精度
24轴xyzθ都采用高预加负载的气浮导轨,具有非常卓越的瞬态刚性
3平衡的Z轴直线电机气浮导轨
4集成多轴控制和操作站
1直线电机驱动平台
2气浮主轴
34纳米分辨率
4先进的控制系统,带客户端软件,放大器和操控台
1双工作台直线电机平台交叉轴,增加了生产能力,减少系统成本
2高精度,高速度直线电机平台要求最少的维护和提供非常好的性能
3驱动架安装在基座下面,节省空间,由组织的提供8轴的运动控制
110-6torr大能力真空制备系统
2液体冷却直线电机驱动,实现平滑扫描运动和高动力
3直线编码器反馈提供全行程范围的高精度
16轴精密微米到巨大零件的检测和装配站
2高速度和高加速度直线电机龙门系统
3机架安装式控制器和驱动器底盘安装在底部以节省地面空间
4交钥匙系统工程
1根据客户特殊要求设计
2完全经过集成和检测,即插即用操作系统,完全的交钥匙工程
3经过模拟应用要求的测试,具有特殊的性能。
1直接驱动无刷伺服
2分辨率和重复性到±0.1arcsec
3高输出性能,操作速度高达300RPM
1摩擦系数小速度平滑
2基于控制的智能放大器
3线缆输送系统引入的振动最小
4安装面小,紧凑
1定制花岗岩底座结构,提供最优的支撑,精度和稳定性
2X轴为宽座以支撑Y轴的悬臂负载
3直接驱动的theta轴实现高速高精度定位
4在板可以存储大量的零件程序
1高真空度(10-6torr)的6轴系统,具有通风孔硬件,特殊润滑和Teflon®线缆.
2高精度,长行程,液体冷却直线电机驱动XY平台
3高精度2轴万向支架轴上直接安装旋转编码器作为位置反馈
4全坐标系6轴同步运动,可实现立体SPLINE轮廓曲线
1轮廓低.速度高,XY直线电机平台,高分辨率theta轴
2集成的高柔性的多轴电缆管理
3反装Z轴以最小化机械包装,包括集成的制动器
4最新最尖端的多维误差映射
1带有主动偏转控制和3维轴校准的先进的控制算法
2超稳定的龙门桥能调节自动聚焦轴和系统光路
3集成了AEROTECH平台,电机,驱动和控制器的交钥匙生产机械
1重量最轻的转台.在x-θ系统配置中能显著提高系统动态性能
2直驱,无刷,无槽电机使之具有精确平稳的轨迹特性
3包装紧凑密封,具有低惯量,高扭矩
414毫米孔径通到进给材料,夹头夹紧式安装固定