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1采用AEROTECH自有无刷直线伺服电机,性能出众,寿命长
2可灵活配置Z轴和θ轴
3可选机械底座和抬高量
4可选表面镀镍以进行ESD保护和医疗应用
5紧凑设计,整体尺寸小
6是芯片焊接机,引线接合器,WLP和DNA压型的理想选择.
Travel行程≤500mm
Accuracy精度±5.0um(±200uin)
Load 负载15kg(33lb)
1速度高达3米/秒,加速度3g
2采用大推力无刷直线伺服电机
3可灵活配置Z轴和θ轴
4非接触直线编码器(光栅)
5可选机械底座和抬高量
6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测.
Travel行程≤1000mm
Accuracy精度±5.0um
Load 负载25kg(55.1lb.)
1速度高达3米/秒,加速度高达5g
2采用双Y轴,BLMH大推力无刷直线伺服电机
3双Y轴直线编码器(光栅)
4为高伺服带宽最优化的机械结构
5世界上最高生产力的龙门系统
6适用于超高速度和加速度,超高的精度和重复精度的场合.
Travel行程≤1200mm
Accuracy精度±3.0um
Load负载30kg(66.1lb)
1适用于三光学校准
2非接触直线电机驱动
3运动分辨率2.5nm
4低C.T.E.结构
5对环境变化不敏感
1适用于三到六轴光学校准
2直线轴非接触直线电机驱动,旋转轴直驱
3运动分辨率2.5nm,角度分辨率0.027-0.058
4交钥匙工程的驱动和控制系统
5光栅螺旋功率波动运算法则,工业标准电源线接口
6可选集成视觉系统
1专为高性能光学校准和装配设计
2直线编码器反馈,提供高达2nm的分辨率
3使用Automation3200控制可实现62皮米分辨率
4全预载气浮导轨(空气轴承)
5完全非接触设计
6超平滑的速度控制性能
1三轴光掩膜校准平台
26-8英寸掩膜标准接口
3集成真空吸槽以定位掩膜
4轮廓低,易于集成进光学器件队列
5直接驱动无刷伺服电机
1现今可用的最全面的光电平板雕刻系统
2机械和气浮轴承的分离轴和龙门式系统适合所有PV/FPD雕刻应用
3直接驱动直线电机平台
4行程到2.5米
5高系统动态刚性以保证高精度
6行业领先的控制系统,配备基于位置的实时激光开火输出
7可选单轴或多轴步进轴,多Z轴,集成制动的theta轴,被动或主动隔振,机械底座,控制箱