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产品分类
品牌厂家
1专为高性能校准和装配应用设计
2分辨率达2nm的直线编码器反馈
3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)
4全预加负载气浮导轨(空气轴承)
5低噪音线性放大器
6全部非接触设计
行程≤150mm
精度±0.20um
重复定位精度±0.05um
直线度±0.25um
平面度±0.25um
1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度±1um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um
1专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计
2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好
3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4行程达1米
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6可集成包括花岗岩的XY子系统
行程≤1000mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.40um
平面度±0.40um
1世上最高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50um
1专为晶片检测,平板显示加工和光学检测及制造应用设计
2扫描轴是空气轴承,步进轴是机械轴承
3行程达1.2米X1.2米
4双直线电机驱动步进轴
5直线编码器或激光干涉仪反馈
行程≤350mm
精度±1.0um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.60um
平面度±0.60um
1气浮导轨实现超平滑运动
2所有轴都预加载荷
3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动
3行程达1mx1m
4非接触直线编码器(光栅)
5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱
6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测.
Travel行程≤1000mm
Accuracy精度±2.0um
Load负载84kg
1同一条导轨上两个运动平台
2独立或并列运动
32.5nm分辨率
4非接触直线电机驱动
5交钥匙的配套驱动和控制系统
6适合辅助轴
1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.ER筒夹系统使材料箝位自动化
3.可选夹紧装置夹紧管
4先进的控制系统结构
5.单或双主轴结构
6.可选择湿切割
7.拥有两项专利PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956
1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.气动3爪卡盘或ER筒夹
3.较大的通孔可以使产品通过
4.可选择在前后加工的平台
5.直接驱动直线和旋转电机技术
1,同时进行顶部和侧面的3D表面测量
2,提高产量
3,节省时间和经费
1,光学反馈装置提供优秀的热稳定性
2,使用Aerotech的NmarkCLS控制器,可以实现工业级最高的24位分辨率
3,光圈和焦距的范围广
4,多选择的镜面处理适应于多种激光波长
1,大行程
2,高动态性能
3,高精度
4,高分辨率
5,易使用软件