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产品分类
品牌厂家
1专为高性能校准和装配应用设计
2分辨率达2nm的直线编码器反馈
3闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)
4全预加负载气浮导轨(空气轴承)
5低噪音线性放大器
6全部非接触设计
行程≤150mm
精度±0.20um
重复定位精度±0.05um
直线度±0.25um
平面度±0.25um
1专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2双轴,大孔,开放式结构
3非接触直线编码器反馈,精度高
4双直线电机驱动XY轴
5所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程≤250mm
精度±1um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.50um
平面度±1um
1专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计
2十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好
3所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4行程达1米
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6可集成包括花岗岩的XY子系统
行程≤1000mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.40um
平面度±0.40um
1世上最高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3行程达1.2米X1.2米
4Y轴双直线电机驱动
5直线编码器或激光干涉仪反馈
6主动控制偏转
行程≤1200mm
精度±0.50um
重复定位精度±0.10um
直线度±0.50um
平面度±0.50um
1专为晶片检测,平板显示加工和光学检测及制造应用设计
2扫描轴是空气轴承,步进轴是机械轴承
3行程达1.2米X1.2米
4双直线电机驱动步进轴
5直线编码器或激光干涉仪反馈
行程≤350mm
精度±1.0um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.60um
平面度±0.60um
1气浮导轨实现超平滑运动
2所有轴都预加载荷
3下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动
3行程达1mx1m
4非接触直线编码器(光栅)
5可选Z轴,隔振,机械底座和控制箱
6适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测.
Travel行程≤1000mm
Accuracy精度±2.0um
Load负载84kg
1同一条导轨上两个运动平台
2独立或并列运动
32.5nm分辨率
4非接触直线电机驱动
5交钥匙的配套驱动和控制系统
6适合辅助轴
1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.ER筒夹系统使材料箝位自动化
3.可选夹紧装置夹紧管
4先进的控制系统结构
5.单或双主轴结构
6.可选择湿切割
7.拥有两项专利PatentNo.7,038,334PatentNo.7,105,956
1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.气动3爪卡盘或ER筒夹
3.较大的通孔可以使产品通过
4.可选择在前后加工的平台
5.直接驱动直线和旋转电机技术
1最大2m/s扫描速度和5g加速度的输出
2最快的转向和最小的稳定时间
3主动偏转控制
4直线光栅或激光干涉仪反馈
5行程1.2mx1.2m

行程≤1200mm
精度±300nm
重复定位精度±50nm
分辨率0.25nm
1满足安全,国防建设和监测全球市场的需要
2把先进的高精密机械与业界领先的控制技术结合在一起
3惯性稳定
4包含内置滑环,可连续旋转360°
5高定位精度和速度性能
6易于安装和系统集成的集成电路
7低维护,高可靠性提供最低的拥有成本
平转:最高速度180°/秒,持续360°
倾斜:最高速度180°/秒,范围为±95°
位置分辨率:7.6弧秒
定位精度:120弧秒
有效载荷:35公斤
1,同时进行顶部和侧面的3D表面测量
2,提高产量
3,节省时间和经费
1,光学反馈装置提供优秀的热稳定性
2,使用Aerotech的NmarkCLS控制器,可以实现工业级最高的24位分辨率
3,光圈和焦距的范围广
4,多选择的镜面处理适应于多种激光波长
1,大行程
2,高动态性能
3,高精度
4,高分辨率
5,易使用软件