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1 最大2 m/s扫描速度和5g加速度的输出 


2最快的转向和最小的稳定时间

3主动偏转控制

4 直线光栅或激光干涉仪反馈

5 行程1.2 m x 1.2 m

  行程≤1200mm
  精度±300 nm
  重复定位精度±50 nm
  分辨率   0.25 nm

    Aerotech具有多年的工程和制造世界上最高性能运动系统的历史,直接面对用户的关键应用需求。多年的努力帮助我们掌握多数工业应用的关键技术,如半导体、医疗和军事、航空宇宙。广泛的经历和经验集中体现在PLANAR HD高动力气浮轴承运动平台上,每一个零件和设计特征都选择来最大可能提供最高动力性能,尤其是具有高输出性能,而严格保持几何特性。


     PLANAR HD设计特点


   
PLANAR HD 气浮平台特别设计,最大化输出力到5G的加速度,2 m/s的扫描速度。设计使用高工程机械结构以增加气浮轴承的刚性和减小移动质量;而且,力和质量中心的位置最优化到消除附加力,附加力能导致输出减小和运动误差。


    为进一步增强平台性能,PLANAR HD 在X和Y 轴上都使用气-气 侧面预加负载。该预加负载方法使用反正压力气膜以平衡轴承提升力和预加负载。动态轴承力平衡法使PLANAR HD刚性最大,提供较快转向和最小稳定时间.


    不像单侧L 设计依靠单一真空预加负载龙门轴,Aerotech龙门轴是双气浮 H 桥设计,组合双直线电机和双直线编码器。这进一步提高转向性能,提供增加的正交性和偏转控制。快速转向意味着更高的输出效率和更小的平台,而正交度控制意味着在全晶片表面范围内加工细长列平行性更好。


  
  反馈系统

  

    直线编码器(光栅尺 linear encoder)和激光干涉仪(laser interferometer)选项都可选。 PLANAR HD标准配置包括三个高精度直线编码器,一个是在桥轴,两个是在龙门轴。每个编码器的安装都使标尺中心线靠近工作平面,最大可能降低阿贝误差。编码器材料和安装方法都选择减少热膨胀引起的精度误差。


    驱动系统


   
PLANAR HD 的一个关键性能是使用Aerotech 的 BLM系列无刷直线伺服电机。这种电机使用无铁心推力线圈提供无接头运动无吸力使得运动非常平滑,而且,BLM系列同等容量直线电机产生的推力最高。PLANAR HD 也包括气冷和水冷管理选项。


   先进的控制结构


   
PLANAR HD使用AEROTECH 最先进的Automation 3200 控制系统。Automation 3200是100%数字系统,具有高性能FireWire 网络驱动。全数字结构使其可能最优化电流,速度和位置伺服环以最大化性能。先进的轨迹生成能力,如多块前瞻功能,快速转向时最小化几何误差而我们的位置同步激光点火(Position Synchronized Laser Firing Output (PSO))功能自动调整激光脉冲频率以匹配平台的速度保持系统性能最优。