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1 专为高精密检测,光学检测及制造和纳米技术设备制造应用设计
2 无刷无槽伺服电机直接驱动
3 突出的速度稳定性(电机无接头效应)
4 卓越的运动性能,误差小,无抖动
5 直联高精度旋转编码器
6 扁平结构设计
7 无机械接触
台面直径  128.1-278.1 mm
分辨率 0.18-0.036 arc sec
双向重复定位精度 <1 arc sec