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1 气浮导轨实现超平滑运动
2 所有轴都预加载荷
3 下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动
3 行程达1 m x 1 m
4 非接触直线编码器(光栅)
5 可选Z 轴,隔振,机械底座和控制箱
6 适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测.
行程  ≤1000 mm
精度  ±2 um
重复定位精度  ±0.5 um
直线度  ±1 um
平面度  ±1 um