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1 专为晶片检测,平板显示加工和光学检测及制造应用设计
2扫描轴是空气轴承,步进轴是机械轴承
3行程达1.2米X1.2米
4双直线电机驱动步进轴
5直线编码器或激光干涉仪反馈
行程≤350mm
精度±1.0um
重复定位精度±0.20um
直线度±0.60um
平面度±0.60um