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1 专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2 双轴,大孔,开放式结构
3 非接触直线编码器反馈,精度高
4 双直线电机驱动X Y 轴
5 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程  ≤250 mm
精度  ±1 um
重复定位精度  ±0.20 um
直线度  ±0.50 um
平面度  ±1 um