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1 专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2 运动超平滑,速度稳定性突出
3 直线编码器或激光干涉仪反馈
4 行程达1.2米
5 全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6 全部非接触设计
行程  ≤1200 mm
精度  ±0.50 um
重复定位精度  ±0.20 um
直线度  ±0.25 um
平面度  ±0.25 um