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1 专为高性能扫描和检测应用设计
2 分辨率达到nm以下的直线编码器反馈
3 全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4 大负载 高刚性 几何特性极好
行程  ≤500 mm
精度  ±0.20 um
重复定位精度  ±0.10 um
直线度  ±0.25 um
平面度  ±0.25 um