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介绍
Aerotech的ANT130-XY-ULTRA是针对XY轴应用的大行程(最高达160mm*160mm)纳米定位平台。每个轴采用交叉滚珠轴承,拥有Aerotech独特的无齿槽零背隙的直接驱动技术。另外,每个平台采用二维修正以达到无与伦比的纳米分辨率,精度和重复定位精度。这种独特的驱动和轴承结合技术,包装成非常低的外形及小的占地面积,能够为您的运动应用提供实实在在的优势。

ANT130-XY-ULTRA扩展了Aerotech ANT130-XY系列平台所不能达到的一些性能水平。ANT95-XY-ULTRA特殊的几何结构和动态性能使之成为研究室或生产环境中几乎所有高端运动应用的理想选择。
ULTRA 轨迹管理系统
为了使我们多轴纳米定位平台系统达到最高可能的系统精确度,Aerotech开发了一种预付款,交互式的,动态轨迹式的管理系统。利用这种精密的交互式校准系统,机械系统可完全地组装好,并且于校准之前在我们最好的测量实验室进行了功能测试。纳米水平级系统精度仅在严格的环境条件,最好的测试校准仪器,及利用ULTIMUS强大的功能下才能达到。通过执行ANT130-XY-ULTRA的ULTIMUS动态轨迹管理系统,能够得出±250 nm的二维精度或者更好。

以下图形以标准的ANT130-XY和-ULTRA类型的性能差异为例。由平台偏转引起的直线度误差,正角度误差和精确度误差实际上都被消除了。