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ANT130-R和ANT130-R-PLUS直接驱动旋转平台作为Aerotech纳米运动技术产品家族的一部分而设计。我们的旋转平台提供了史无前例的定位稳定性(0.005角秒)和0.01角秒递增的运动性能,并且提供两个级别的精度等级。
多轴功能
ANT130-R系列的设计能够同Aerotech ANT直线平台产品兼容及简易集成。结合这些平台能够为几乎所有纳米制造业和检测应用提供定位精度,稳定性和小尺寸性能等特性。
动态特性
除了获得高精度水平外,这些系统可提供高动态性能和磁盘驱动制造及测试的理想生产能力。
耐用性
ANT130-R系列平台的设计能在24/7的生产环境中运行。不同于其他旋转设备,ANT130-R无需定期维护,并能确保数年无故障运行。